顯微分光膜厚儀（OPTM系列）

測(cè)量目標(biāo)膜的**反射率，高精度測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)！非接觸·非破壞·顯微

測(cè)量時(shí)間僅1秒!

OPTM系列使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)**反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件

產(chǎn)品特點(diǎn)：

頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能

通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高精度**反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

1點(diǎn)1秒高速測(cè)量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外***近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測(cè)量項(xiàng)目：

**反射率測(cè)量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

應(yīng)用：

半導(dǎo)體：晶圓樣品的自動(dòng)調(diào)整，晶圓的彎曲檢測(cè)

光學(xué)元器件：鏡頭鏡片的放射率，彎曲等檢測(cè)

顯微分光膜厚儀（OPTM系列） 產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)：